La espectroscopía de fluorescencia de rayos X (“XFS”) fue descubierta por Mosley, quien reconoció que cada elemento exhibe líneas de fluorescencia que son características del número atómico de ese elemento. Él fue capaz de reorganizar esencialmente la Tabla Periódica en la forma en que está hoy con esta técnica. Además, esta clasificación basada en el número atómico (en lugar de la antigua forma basada en la masa atómica) facilitó la identificación de elementos recién descubiertos que llenaban los “agujeros” en la Tabla Periódica. Estos eran lugares donde deberían estar los elementos de cierto número atómico, pero aún no se habían encontrado en la naturaleza.
Usando este método, varios “reclamos” pendientes del descubrimiento de nuevos elementos fueron desacreditados usando XFS.
Tienen microscopios con XFS integrados en ellos. Puede observar un espécimen con gran aumento, apuntar el haz de rayos X a cualquier punto e identificar a partir de las líneas espectrales los elementos que están presentes en ese punto.
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No es una identificación limpia; con frecuencia se solapan las líneas espectrales, y leer los espectros requiere un experto humano; Algunas de las líneas críticas son muy pequeñas; y los algoritmos informáticos para “leer” las líneas no son confiables para muchos de los elementos.