MEMS – sistemas microelectromecánicos 
Aquí se muestra un sistema de acelerómetro termoeléctrico. Otras implementaciones usan el efecto Hall, que no funcionaría en el espacio.
Tecnología- Acelerómetros térmicos MEMS
Su teléfono inteligente probablemente cuenta con un acelerómetro, así como una brújula. Trabajan con la interacción de campos magnéticos muy pequeños. A escala macro, no los notamos, pero con características pequeñas, incluso los campos magnéticos diminutos tienen un efecto desproporcionado.
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MEMS es exactamente lo que dice en la lata. Una versión microscópica de un sistema mecánico que también involucra electricidad.
Los mecanismos disponibles para la conversión de energía aquí son ilimitados y sorprendentes: Piezo (por compresión / extensión de materiales mecánicos), magnético (con todas sus variantes), hidroelectrodinámico, iónico (como una batería), fermiónico (semiconductores). a menudo estos mecanismos interactúan para hacer que los dispositivos y sensores arcanos que ves aquí.
Los conceptos son relativamente simples, pero diseñar un sistema como este va de simple a estúpidamente complejo en segundos. Hasta ahora, la tecnología MEMS ha demostrado ser confiable, pero también necesita un software muy bueno para aprovecharla al máximo (como cualquier cosa que involucre sensores).
Puede tener engranajes: (edición posterior: esto también se parece a un dispositivo de medición) 
Transistores de radiofrecuencia con microbrisas que detectan las más pequeñas vibraciones: 
Dispositivos de medición: 
O microfluídica (en este caso, un transistor mecano-quimio-eléctrico propuesto para su uso en una pantalla Braille) La Universidad de Sheffield 
Nanotubos de carbono cultivados como biosensores. Este tipo de sensores están siendo sometidos a una investigación muy sólida en universidades que se ocupan de bioquímica, ciencias de los materiales y micro / nanoelectrónica. Mientras que 30um es grande, “nano” a menudo solo significa “mesoscópico”. Aún así, las paredes laterales en esas características y su fabricación, debe tener en cuenta las reacciones químicas que ocurren a un nivel atómico muy bajo para hacer que su proceso sea correcto.
#MEMS: “La microfluídica detecta el cáncer con nanotubos” 
La complejidad de MEMS está llegando a ese nivel en el que podemos comenzar a llamarlos microrobots. 
Tienes que ver esto para creerlo :
Revista Microrobot omnidireccional accionado térmicamente
Microrobot de la Universidad de Washington muestra las últimas mejoras
El problema es que, como señala Sid a continuación, algunos de estos ejemplos se relacionarán con juguetes lindos sin un propósito práctico. Mientras que algunas propiedades eléctricas disminuyen, las mecánicas no lo hacen: notablemente, densidad, módulo de corte, fricción. Ese es un gran problema si quieres hacer algo lo suficientemente pequeño que se mueva. ¿Alguna vez tuvo que apretar una tuerca industrial muy grande? ¿Te sorprendió lo fácil que era hacerlo en comparación con un tornillo de 1 mm en un teléfono móvil? La misma idea…
