La obtención de imágenes de una muestra utilizando un haz controlado de electrones se denomina microscopía electrónica.
Un haz de electrones primario (amarillo) que se origina en una fuente termoiónica se pasa a través de una serie de lentes electromagnéticas para enfocarse como un pequeño punto (sonda) en la muestra.
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Debido a la interacción del haz de electrones con la muestra (perfil en forma de cebolla), varios tipos de electrones, como los electrones secundarios (SE), debido a colisiones inelásticas, electrones dispersos hacia atrás (EEB), debido a colisiones elásticas, electrones transmitidos ( TE) – transmitido desde el fondo de la muestra, etc., se emiten desde la muestra.
Entre estos electrones recién emitidos, el SE contiene la información topográfica (~ 5 a 10 nm) de la muestra en la ubicación de la sonda .
Además, esta información de topografía se obtiene a través de la muestra escaneando el haz de electrones primario (sonda) a través de la muestra píxel por píxel y recogiendo los electrones secundarios que se emiten de la muestra en cada píxel.
Estos SE, recopilados de cada uno de los píxeles, se procesan utilizando algoritmos de procesamiento de imágenes y se genera una imagen de nivel Gray. Esta imagen se llama popularmente como imagen SEM.
A continuación se muestra un ejemplo de imagen SEM de una muestra de semiconductores:
Nota :
- Los bordes exteriores de la muestra aparecen brillantes debido al EFECTO EDGE [1]
- Los bordes parecen estar ligeramente redondeados debido al redondeo de las esquinas [2]
Fuente:
Imagen 1: microscopio electrónico de barrido
Imagen 2: https://app.box.com/s/hujy03q7mg…
Notas al pie
[1] imagen secundaria de electrones
[2] http://www.lsi.usp.br/~acseabra/…
