Respuesta corta : el humidificador ultrasónico utiliza ondas ultrasónicas para crear una niebla fina a través de la cavitación en el agua con una onda capilar rota en la superficie del agua.
Respuesta larga : el humidificador consiste en un disco cerámico piezoeléctrico que recibe corriente a través de dos electrodos de níquel. Dado que la cerámica es piezoeléctrica, oscila en presencia de corriente eléctrica a frecuencia ultrasónica (para que no escuche las ondas de sonido generadas en el agua) 
A medida que aumenta la frecuencia de oscilación de la placa, el agua intenta seguir la frecuencia que oscila con la placa. Pero el agua no puede igualar la frecuencia debido a su inercia y peso y causa golpes de ariete. Entonces, a medida que la onda de agua va a la zaga de la onda del disco, se crea un área de baja presión entre ellos que forma una cavidad. Esto se llama cavitación. La cavidad puede estar vacía o llena de aire ya que hay aire disuelto en agua y con la formación de baja presión, el aire se mueve hacia la cavidad. Cuando esta cavidad implosiona, crea mucha energía y el chorro de implosión como se muestra en la figura generalmente tiene mucha energía. El disco vibratorio también causa ondas capilares en la superficie del agua (ondas). La onda capilar sigue oscilando hacia arriba y hacia abajo debido a la tensión superficial y la gravedad. Con la cavidad implosionando, se forma una onda capilar cruzada en la superficie y, como resultado, en la cresta de la ola, gotas muy pequeñas de agua tienen suficiente energía para romper la tensión superficial y salir del agua. Tan pronto como estas diminutas gotas de agua salen de la superficie, son absorbidas por la corriente de aire que sopla un ventilador y dejan el humidificador como niebla. El tamaño de estos aerosoles sería menor con una frecuencia creciente. Además, si las ondas capilares oscilan alrededor de la mitad de la frecuencia de activación, el umbral de atomización será aproximadamente lineal con la viscosidad del agua [1]. 
Aquí hay un video que muestra la deconstrucción y partes de un humidificador ultrasónico. Tiene música de fondo.
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http://science.discovery.com/vid…
[1] http://asadl.org/jasa/resource/1…
