La radiación primaria de un microscopio electrónico es, por supuesto, los electrones, que se emiten desde una fuente de electrones como un alambre de tungsteno caliente, ciertos cristales que contienen boro o una variedad de otros tipos de cristales con baja función de trabajo.
La interacción entre el haz de electrones y la muestra que se analiza produce una variedad de señales. Estas señales de escape pueden ser electrones dispersados elásticamente, electrones dispersados inelásticamente, electrones secundarios, electrones de barrena, rayos X y, de hecho, a veces luz debido a la fluorescencia.
La tecnología de detectores está dominada por detectores sensibles a la luz que han sido optimizados por las fuerzas del mercado para ser eficientes y de bajo costo. Ejemplos de estos son los sensores CCD, CMOS, fotodiodos y fotomultiplicadores.
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Necesariamente, para usar estos detectores sensibles a la luz comunes, las señales de la interacción electrón-muestra deben convertirse en luz, generalmente interactuando con un material llamado centelleador, que produce fotones en longitudes de onda visibles si son golpeados por electrones, rayos X o Otras señales energéticas. Los fotones generados en el centelleador pueden ser detectados por los detectores y convertidos en señales eléctricas que son procesadas por una computadora para formar la imagen.
Naturalmente, esto puede parecer algo retrógrado, ya que muchas señales podrían detectarse directamente en lugar de pasar por un proceso con pérdida de conversión a la luz y luego a electrones. Sin embargo, el uso de detectores sensibles a la luz es, de hecho, la forma más eficiente de construir las herramientas, y las señales resultantes son lo suficientemente buenas como para producir imágenes muy agradables que no podría obtener a través de otros medios de imagen.
