La técnica de implantación de iones generalmente se prefiere sobre la técnica de difusión térmica.
Esto se debe a ciertas ventajas que tiene la implantación iónica sobre las técnicas de difusión.
He discutido algunas de las principales ventajas:
- ¿Qué es una reacción reversible y cómo se puede aplicar?
- ¿Existe algún concepto de física o química que no utilice matemáticas para ser explicado?
- ¿La tela húmeda se evapora más lentamente que el agua pura?
- Si una medición se realiza con un dispositivo de medición que está marcado con un valor de 0.05 mm, ¿es este valor una medida de precisión o la precisión del valor medido?
- ¿Cuáles son algunas discrepancias en la ley del gas ideal?
- Precisión de la dosis
La dosis de iones precisa solo se puede medir durante la implantación de iones, y no la difusión.
El resultado del experimento muestra que la técnica de implantación de iones puede lograr una precisión de dosis de 1 a 5% contra 5 a 10% en difusión.
- Reproducibilidad
La dosis de implantación de iones se mide electrónicamente y es muy precisa.
No se produce variación de dosis de una oblea a otra, lo que resulta en una reproducibilidad muy alta de una ejecución a otra.
Mientras que, en difusión, la dosis depende en gran medida de la receta de difusión optimizada previamente .
Por lo tanto, se encuentran variaciones de una oblea a otra. Junto con eso, las variaciones también se encuentran en la misma oblea.
- Rango de concentración de dopaje
Implantación de iones: dosis mínima- ~ 10 ^ 11 átomos / cm ^ 2
Dosis máxima: sin limitación
Difusión: Dosis mínima- ~ 10 ^ 13 átomos / cm ^ 3
Dosis máxima: limitada por la solubilidad suave, 10 ^ 16 átomos / cm ^ 3
Por lo tanto, la implantación de iones tiene un mayor rango de dopaje.
Otras ventajas importantes incluyen un mayor rango de temperatura de proceso, capacidad de dopaje a través de película delgada , control de perfil mayor, dopaje de canal corto e implantación de dopante puro y dopante molecular.
Espero que esto responda a tu pregunta.
