Puede consultar el Manual de grabadores de metal CRC de 1991 para obtener una lista completa de grabadores de silicio. (Página 986 – 993, 996 -).
Para nombrar unos pocos:
BHF, un baño ácido compuesto de 1 parte [matemática] \ mathrm {HF} [/ math] y 7 partes [math] \ mathrm {NH_4F} ~ \ mathrm {(40 \%)} [/ math] es un grabador isotrópico para silicio tipo p (111). A temperatura ambiente, la velocidad de ataque químico es [math] \ mathrm {25 ~ nm / 15 ~ min} [/ math].
- Cómo calcular el consumo de GLP por hora, de acuerdo con el tamaño del quemador de gas
- ¿Qué pasaría si respiraras gas deuterio?
- Si calentamos una barra de hierro en su etapa al rojo vivo y luego la sumergimos en agua a temperatura ambiente, ¿qué pasará con su temperatura?
- Cómo evitar que mi cama elástica se oxida
- ¿Es seguro usar una cuchara de metal en una olla de metal normal para mezclar puré de papas?
El grabado de Wright es otro. Es una mezcla de [math] \ mathrm {HF} [/ math], [math] \ mathrm {HNO_3} [/ math], [math] \ mathrm {CrO_3} [/ math], nitrato de cobre (II), y ácido acético. Se dice que puede obtener silicio a aproximadamente [math] \ mathrm {1 ~ \ mu m / ~ min} [/ math]
En la sala limpia, a menudo utilizamos el grabado profundo de iones reactivos (DRIE) para hacer agujeros en las obleas de silicio. Muy efectivo.
